La sintesi del nitruro di silicio fu segnalata per la prima volta nel 1857 da Henri Edouard Saint-Claire Deville e Friedrich Wöhler. Nella loro sintesi, un crogiolo contenente silicio veniva posto in un crogiolo riempito di carbonio e riscaldato per ridurre la penetrazione dell'ossigeno. Hanno segnalato un prodotto che hanno chiamato nitruro di silicio, ma non sono stati in grado di determinarne la composizione chimica.
Nel 1879, Paul Schutzenberger preparò il prodotto riscaldando il silicio mescolato con materiale di rivestimento (una pasta che può essere utilizzata come rivestimento del crogiolo, ottenuta mescolando carbone, bricchette di carbone o coke con argilla) in un altoforno e lo riportò come composto con la composizione Si3N4. Nel 1910, Ludwig Weiss e Theodor Engelhardt prepararono Si3N4 riscaldando il silicio elementare in azoto puro. Nel 1925, Friederich e Sittig sintetizzarono il nitruro di silicio riscaldando il biossido di silicio e il carbonio in un'atmosfera di azoto a 1250-1300 gradi utilizzando la riduzione termica del carbonio.